低溫泵又叫低溫真空泵、冷泵、冷凝泵。是利用低溫制冷機作為冷源(10K),通過低溫冷凝和低溫吸附的原理獲得高真空的設備。
海邁公司提供的DZB系列低溫泵具體如下優點:
1)極限真空高;
2)抽速大;
3)真正潔凈;
4)運行成本低;
5)安全可靠;
6)使用方便;
7)壽命長。
DZB系列低溫真空泵應用領域
低溫泵適合用于希望獲得10-1Pa至 10-9Pa真空度的場合,尤其適合應用于要求潔凈無油和/或快速抽氣的場合,例如:
1)真空排氣設備
2)濺射鍍膜設備
3)蒸發鍍膜設備
4)離子注入設備
5)分子束外延設備
使用以上設備的工業真空鍍膜,例如:半導體與集成電路前工序、光學鍍膜、太陽能電池板、光電子器件和真空電子器件制造、平板顯示器件鍍膜
1)電子束設備
2)空間模擬裝置
3)高能物理研究裝置
4)加速器束流管
5)表面分析裝置






